半導体産業で使用される水は、ますます高純度化され、超純水中の有機物（TOC）濃度に対する要求値も非常に厳しくなってきております。〈FOVシリーズ〉は、高出力低圧水銀ランプから発生する真空紫外線（185nm）を効率よく照射し、水中の有機物を酸化分解する装置です。ーppbオーバーの有機物をさらに低減させるのに適しています。
新開発の高出力低圧水銀灯・電子化安定器を採用致しました。高効率、省エネ、軽量・小型化は従来品をしのぎ、ランプパワーを最大限に引き出します。
縦型ですので設置スペースが縮小できます。
ランプ交換などメンテナンスも容易です。
ランプ寿命：7500時間（連続点灯時）
有機物の分解とは、その有機物を構成する三元素（酸素、水素、炭素）を炭酸ガスと水に分解することを言います。
紫外線の作用は二つあります。
有機物の結合を直接切断する。
酸化剤や水を分解してOH基を生成する。
そのOH基が有機化合物を分解する。
